清浄度維持技術の進歩は、フィルタの高性能化によるところが大きく、ULPAフィルタは０.1μmの粒子を除去します。実際のクリーンルームでは、経済性を考慮して各種フィルタが組み合わされ使用されます。 フィルタの高性能化のほか、清浄度確保のためには、フィルタフレームなどからの汚染物質漏洩防止技術、室内気流の不均一性などに起因する誘引防止技術などの基本技術が重要となります。
ファンフィルタユニット（システム天井）
クリーンルーム室内に清浄空気を一方向流で供給するための送風機(ファン)と、エアフィルタから構成される装置です。
使用可能エアフィルタ
ファンフィルタユニット（循環系）
クリーンルーム室内から排出される清浄空気を再利用しケミカル汚染濃度をいっそう低減させ、ウェハー保管庫へ高度清浄空気を供給する装置です。
使用可能エアフィルタ
エアハンドリングユニット
送風機（ファン）・熱交換器（コイル）・加湿器・エアフィルタ・ケーシングで構成されているものをいいます。主として大規模空調に適用される空調機です。
使用可能エアフィルタ
エアシャワー
清浄な状態で管理されたクリーンルーム内汚染を防止するため、人や搬入物の表面に付着した塵埃等の粒子をエアフィルタで清浄化された高速エアにより入室前に除塵する装置です。
使用可能エアフィルタ
クリーンブース
クリーンルーム内に局所的に作る、高度清浄空間の部屋です。方式には、乱流方式、層流方式があります。
使用可能エアフィルタ
クリーンベンチ
作業台上を局部的に最高の清浄度に保つ経済的な装置です。
使用可能エアフィルタ
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